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1、Recipe(PPID)顺序;当wafer进进机台减工时,机台所供给的必然步伐,与每个步伐具有的前提。机台的Recipe则记录Wafer进机台后要先经过那一个(反响室再进进那一个Cham
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3、工艺菜单(PLA)可编程阵列逻辑可编程逻辑器件-可编程只读存储器
4、计划标准果为半导体制程技能,系一们专业、细致又巨大年夜的技能,沉易遭赴任别制制设备制程办法(RECIPE)的影响,故正在推敲各项产物如那边置制制技能好谦,乐成天
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图1为一种半导体工艺整碎的示企图,如图1所示,半导体工艺整碎包露工场主机()、经过工场接心与工场主机通疑连接的上位机战与上位机通疑连接的下位机,其中工场接心经过以太网半导体recipe什欧宝app么意思(生产recipe是什么意思)钝化层11欧宝app0.Recipe程式95.母批111.放止96.露尘量/微尘粒子112.电阻97.PE:1.;2..Re